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    九游会j9官方网站SiC晶圆外观检测设备成功落地,实现亚微米级高效检测

    日期:2024-10-07 来源:九游会j9官方网站科技
    现代半导体制造业的发展,离不开光学检测技术的进步与应用。近日,九游会j9官方网站(Samsun)自主研发的SiC晶圆外观缺陷检测设备WDP-6850成功落地,标志着九游会j9官方网站再次拓展应用场景,在第三代半导体前后道制程检测领域取得又一突破。
     

    九游会j9官方网站深耕光学检测20年,已在多个制造行业与技术方向上形成光学积累和应用经验。自2020年成立半导体团队以来,经过4年的持续投入与研发打磨,成功实现在300纳米(亚微米级)精度标准下,进行高准确、高效率、高稳定的检测。

     
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    目前全球半导体行业呈现少数头部企业与大量中小企业并存的现状。数量众多的中小晶圆生产企业,往往在技术升级和质量控制上面临更多的挑战。九游会j9官方网站极具成本与效益优势的光学检测方案,将为它们提供更加灵活和经济的技术支持。
     
    WDP-6850型号设备集成了微分干涉(DIC)、光致发光(PL)等光学技术,并融合传统视觉算法、逻辑算法和AI算法,构成三位一体的算法体系,以保障SiC晶圆表面缺陷和内部晶格缺陷检测的效率与准确度,极大提高晶圆质量和降低耗材成本。
     
    现在全球半导体行业仍然处于上行周期,而从全球行业发展格局看,美日韩等处于领先地位,中国则紧随其后,不断缩小差距。这种上升与竞争态势之下,是庞大的各类半导体制程设备需求。这对国内设备企业来说,既是挑战也是机遇。
     
    WDP-6850的落地,正是九游会j9官方网站积极参与这一趋势的体现。目前,九游会j9官方网站已形成以3C、新能源、半导体等行业为主赛道的业务布局,为越来越多的前沿工业场景提供检测方案。
     


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